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材料プロセスG 石田 裕樹さんが第31回マイクロエレクトロニクスシンポジウム（MES2021）にて研究奨励賞賞を受賞しました。
発表題目：『酸素アニールによるITO電極表面状態と(Pb,La)(Zr,Ti)O3キャパシタの劣化特性』
発表者：○石田　裕紀、岡本　尚樹、齊藤 丈靖
https://web.jiep.or.jp/event/mes/mes2021/index.php