実績

2024年1月22日

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日本材料学会半導体エレクトロニクス部門委員会 2023年度 第3回研究会

-2024年1月、鳥取大学-

■(010)および(001)β-Ga2O3基板表面へのRF窒素プラズマ照射効果：ショットキー界面の電気特性  高井 亮汰