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研究基盤共用センター（中百舌鳥キャンパス）☚ウェブサイトはこちら
研究機器に関して下記をご確認ください
磁気特性測定システム
電子プローブマイクロアナライザー
機器名磁気特性測定システム（ＭＰＭＳ３）仕様・特徴広範囲な温度（1.8 K ～ 400 K）と磁場（-7 T～ 7 T）の条件下で試料のDCおよびAC磁化が高感度に測定できます。利用料金設定（学外）学術指導または共同・受託研究： 費用は双方で協議の上、決定。機器ＨＰ磁気特性測定システム（ＭＰＭＳ３）
機器名電子プローブマイクロアナライザー（ＥＰＭＡ）日本電子 JXA-8530F仕様・特徴電子プローブマイクロアナライザー（EPMA）では，ミクロ組織の観察と微小領域の元素分析が行えます。付属する軟X線発光分光器は，軽元素の検出や状態分析に有効です．利用料金設定（学外）学術指導または共同・受託研究： 費用は双方で協議の上、決定。
透過型電子顕微鏡
物質・材料特性評価装置
機器名透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）日本電子 JEM-2000FX
仕様・特徴透過型電子顕微鏡（TEM）では，ナノスケールのミクロ組織の観察および結晶構造の解析が行えます．
利用料金設定（学外）学術指導または共同・受託研究： 費用は双方で協議の上、決定。
機器名物質・材料特性評価装置（ＰＭＰＭＳ）Quantum Design PPMS-Ever cool II仕様・特徴温度2～400 K、磁場±9 T中で、電気抵抗率・磁化・
比熱などの基礎物性評価を行います。利用料金設定（学外）学術指導または共同・受託研究： 費用は双方で協議の上、決定。
機器HP
物質・材料特性評価装置(ＰＭＰＭＳ）
次世代シークエンサー
機器名走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）日本電子 JEM-6010PLUS
仕様・特徴走査電子顕微鏡（SEM）では，材料表面形態の観察が行えます．付属するエネルギー分散型X線分光装置では、化学組成の定性・定量分析が可能です。
機器名 次世代シークエンサー仕様・特徴小規模ゲノムシーケンス、ターゲット遺伝子シークエンスを含む、メタゲノム解析ができます。
利用料金設定（学外）学術指導または共同・受託研究： 費用は双方で協議の上、決定
核磁気共鳴装置
機器名核磁気共鳴装置（ＪＥＯＬ ＮＭＲ）仕様・特徴様々な有機分子（溶液状態）の核磁気共鳴スペクトルを測定できます。
機器名核磁気共鳴装置（Ｂｒｕｋｒｅｒ ＮＭＲ）Bruker NMR AVANCE NEO 400型
仕様・特徴核磁気共鳴（NMR）装置は、核スピンを利用して有機分子の構造を解析する装置です。溶液サンプルのみに対応しています。
機器ＨＰ
核磁気共鳴装置（Ｂｒｕｋｒｅｒ ＮＭＲ）
機器名物理特性測定システム PPMS（日本カンタムデザイン：PPMS-9T）
仕様・特徴液体ヘリウムデュワーと超伝導マグネットを備え、広範囲な温度(350～1.9K)と、磁場（ｰ9～9T）制御下における比熱、熱伝導率、ゼーベック係数、AC電気抵抗、DC電気抵抗測定が可能です。
電子ビーム描画装置 EB（エリオニクス：ELS-7500EX）
仕様・特徴細く絞られた電子ビームを用いて基板に直接微細パターンを描画する装置です。最小線幅10nmの描画が可能で、重ね合わせ精度は60nmです。最大6インチφウェハ試料又は6インチ□マスク試料が装着でき、高速描画・大面積描画にも対応できます。
機器名X線回折装置 XRD（リガク：Smart Lab）
仕様・特徴1次元Ｘ線検出器（D/teX Ultra 250）により高速測定が可能です。粉体試料のθ-2θX線回折のほか、光学パーツを組み替えることで薄膜試料のロッキングカーブ解析、逆格子マップ、極点、インプレーン回折、反射率解析、小角散乱など多様な薄膜評価手法に対応します。また、測定データの解析には、PDXL2、ICDD、NANO-Solver、3D Explore、GlobalFitがインストールされています。利用料金設定（学外）学術指導または共同・受託研究： 費用は双方で協議の上、決定。
機器名電界放出形走査電子顕微鏡 FE-SEM （日立ハイテクノロジーズ：SU8010）
仕様・特徴冷陰極電界放出形電子銃を用いた走査型電子顕微鏡です。電子ビームを細く収束させることができるため超高倍率の表面構造観察が可能です。エネルギー分散型X線分析装置（EDX）により、観察試料の元素分析が可能です。利用料金設定（学外）学術指導または共同・受託研究： 費用は双方で協議の上、決定。
集束イオンビーム加工観察装置 FIB
機器名比表面積・細孔分布測定装置 BELSORP（マイクロトラック・ベル：BELSORP-max）
仕様・特徴比表面積、細孔分布、各種吸着量測定を行うことができます。各測定ポートに圧力センサーが付属しており最大3検体の同時測定に対応します。蒸気吸着測定オプションが付属しています。利用料金設定（学外）学術指導または共同・受託研究： 費用は双方で協議の上、決定。
機器名集束イオンビーム加工観察装置 FIB（日立ハイテクノロジーズ：FB-2100）
仕様・特徴きわめて細く集束したGaイオンによるイオンビームを試料表面で走査することによって発生した二次電子などを検出して顕微鏡像を観察したり、エッチングや化合物ガスを試料表面のイオンビーム照射領域近傍に吹き付けることによってデポジション(W膜を形成）をマスクレスで行うことができる装置です。マイクロサンプリングで微小な試料を持ち運ぶことが可能なので、試料の所定箇所のエッチングを行い薄片として取り出すTEM試料作製加工や断面を露出させて観察する断面加工観察を行うことができます。利用料金設定（学外）学術指導または共同・受託研究： 費用は双方で協議の上、決定。
機器名メスバウア分光装置（Wissel：MVT-1000ほか）
仕様・特徴メスバウア分光法は、外部から照射したガンマ線を対象元素の原子核へ共鳴吸収させる分析手法です。材料中に含まれる鉄の価数や配位状態、磁性などを調べることができます。ほかにスズ、ユーロピウムの測定が可能です。利用料金設定（学外）学術指導または共同・受託研究： 費用は双方で協議の上、決定。
機器名レーザーラマン顕微鏡（ナノフォトン：RAMAN-11）
仕様・特徴ラマンスペクトルにより試料の成分組成、結晶構造や化学構造の分析を行うことができ、スペクトル画像により物質や結晶の分布がわかります。532nmと785nmのハイパワーレーザーを搭載しており、ライン照明による高速イメージングが可能で、最高350nmの空間分解能を有しています。半導体や二次電子、無機材料、高分子・生体材料など幅広い分野で利用できます。利用料金設定（学外）学術指導または共同・受託研究： 費用は双方で協議の上、決定。
機器名複合ビーム加工観察装置 FIB-SEM（日本電子：JIB-4700F）
仕様・特徴ガリウム線と電子線を操る複合ビーム加工観察装置です。FIBは最大照射電流90nAの高電流密度Gaイオンビームを採用し、高速加工が可能です。SEMは低加速条件で高空間分解能(1kV/1.6nm)を実現、大電流でも高い空間分解能を維持しています。大口径EDS（エネルギー分散型X線分析装置）を導入しており、高速組成分析を行うことができます。ナノマニピュレーター(OmniProbe350)が付属しています。SEMおよびFIBで観察しながらリフトアウト作業が行えるため、試料室内でTEM試料などの作製を完結させることができます。大気非暴露トランスファーシステムを搭載しており、試料を大気に晒すことなく加工/取り出し/持ち運びが可能です。利用料金設定（学外）学術指導または共同・受託研究： 費用は双方で協議の上、決定。
機器名触針式表面形状・膜厚段差測定装置（ビーコ：Dektak150）
仕様・特徴直径150mm以下の基板上の膜厚段差、表面粗さ、うねりなどの表面形状を高精度に測定する最新の触針式表面形状測定器です。Au、Ag、AIや有機薄膜などの柔らかい薄膜でも膜表面を傷つけることなく測定することができ、微細加工された溝深さなども測定できます。
機器名ロードロック式3元スパッタ装置（日本シード研究所：M09）仕様・特徴3つの6インチのターゲットを取り付けることが可能で、現在Nb、Cr、AI、MoGeが利用できます。最大4インチまでの基板に成膜ができ、ロードロック機構を備えているので8×10ｰ5Paまで10分以内に到達します。
利用料金設定（学外）学術指導または共同・受託研究：費用は双方で協議の上、決定。
走査型プローブ顕微鏡 AFM（SII：SPA-400）仕様・特徴微小部の三次元ナノメートルオーダーの形状と機械物性、電気物性を同時に計測するシステムです。表面電位分布や、粘弾性分布、摩擦特性分布が計測できます。面内0.2nm、垂直0.01nmの分解能を有しています。
機器名手動式マスクアライナ （ズースマイクロテック：MJB4）
仕様・特徴高精度な位置決めと露光が可能な手動マスクアライナです。露光最小線幅は0.8μm、位置決め精度は1μmと大変優れています。小片～4インチ(φ100mm)サイズに対応します。利用料金設定（学外）学術指導または共同・受託研究： 費用は双方で協議の上、決定。
機器名ゼータ電位・粒径測定システム（大塚電子：ELSZ-DN2）仕様・特徴液中のコロイド粒子のゼータ電位と粒子径を測定する装置です。希薄溶液～濃厚溶液でのゼータ電位や、平板状やフィルム状試料の固体表面ゼータ電位が測定可能です。粒子径測定は、最小容量20μLから測定可能です。利用料金設定（学外）学術指導または共同・受託研究：費用は双方で協議の上、決定。
機器名高感度型示差走査熱量計 DSC（SII：DSC7020）仕様・特徴試料と基準物質を一定速度で加熱・冷却しながら両者の温度差を計測することにより、試料の吸熱・発熱を伴う熱物性挙動を観測します。測定温度範囲はｰ150℃～775℃（0.01～100℃/min)であり、融点、結晶化点、ガラス転移点、比熱やエントロピー測定が可能です。利用料金設定（学外）学術指導または共同・受託研究：費用は双方で協議の上、決定。
超音波熱圧着ウェッジワイヤーボンダー（ハイソル：7476D）仕様・特徴線径13～50μmφまでの金線及びアルミ線がボンディング可能な卓上型のマニュアルタイプです。X-Y-Z 3軸マニピュレーターを整備しておりますので操作性に優れていて、ステージの温度調整も可能です。
機器名金属顕微鏡システム（ニコン：LV-100D）仕様・特徴反射・透過照明両用型で、反射型の明視野/暗視野/微分干渉/蛍光/変更/二光束干渉観察に加え、透過型の微分干渉/暗視野/偏光/位相差観察が可能です。１～20μｍ程度の試料をピックアップできるナノピンセットも装備されており、半導体デバイス、電子部品、素材・材料、精密金型などの用途に対応できます。
分光蛍光光度計（島津製作所：ＲＦ－5300PC）仕様・特徴種々の波長の励起光を物質に当てて発する蛍光の波長の特性を測定する装置です。ライフサイエンスや医薬、食品、化学、環境などにおける蛍光を利用した各種微量分析が可能です。本装置は高感度、高速スキャン自動化を実現した装置で、スターラ付単一恒温セルホルダを備えています。
機器名リアルタイムPCR装置（タカラバイオ：TP950）仕様・特徴タッチパネルを搭載したスタンドアロン制御が可能な96ウェル対応のリアルタイムPCR装置です。2種類の蛍光フィルターを装備し、相対定量解析ソフトであるMultiplate RQと併用することにより、DNA、RNA発現量の絶対・相対定量解析を簡便に行えます。利用料金設定（学外）学術指導または共同・受託研究： 費用は双方で協議の上、決定。
機器名ルミノ・イメージアナライザ（GEヘルスケア・ジャパン：Amersham Imager 600）仕様・特徴ルミノ・イメージアナライザ Amersham Imager 600は、化学発光検出、蛍光検出、可視検出の画像解析に対応するCCDイメージャーです。感度と定量性を追求した検出系と多彩な光源系により、幅広いアプリケーションに対応します。
機器名デジタル顕微鏡（GEヘルスケア・ジャパン：（キーエンス：VHX-1000）仕様・特徴試料の表面を拡大観察できます。被写界深度が深いために凹凸の大きな対象物も鮮明に観察できます。リアルタイム画像連結機能により高倍率の解像度を生かしたまま視野を拡張することができ、2次元計測をリアルタイムに行えるほか3次元表示機能を有しています。2000倍の倍率まで観測できます。
機器名精密電子天秤（メトラー・トレド：XP-56）仕様・特徴最大ひょう量52g、最小0.001mgの分解能を持ち、微量サンプルを計量する電子天秤です。大きな風袋容器へ微量サンプルのμgオーダーでの直接量り込みが可能で、計量作業中のトランスファー・エラーを少なくできます。利用料金設定（学外）学術指導または共同・受託研究： 費用は双方で協議の上、決定。
機器名X線回折装置解析PC（リガク）仕様・特徴X線回折測定データの解析ソフトウェア、PDXL2、ICDD、NANO-Solver3D Explore、GlobalFitがインストールされています。利用料金設定（学外）学術指導または共同・受託研究：費用は双方で協議の上、決定。
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