X線回折装置（XRD）

仕様 特徴

1次元Ｘ線検出器（D/teX Ultra 250）により高速測定が可能です。

粉体試料のθ-2θX線回折のほか、光学パーツを組み替えることでロッキングカーブ、逆格子マップ、極点、

インプレーン回折、反射率など多様な薄膜試料測定や、粉体試料などに対する小角散乱測定に対応します。

また、測定データの解析には、PDXL2、NANO-Solver、3D Explore、GlobalFitがインストールされています。

※ X線回折装置解析PCにも、ソフトウェアが導入されていますので、解析に時間がかかる場合にご利用ください。

X線管球　　　　　　　　　　　銅（回転対陰極式）

最大定格出力　　　　　　　　  45 kV、200 mA （9 kW）

最小ステップ　　　　　　　　　0.0001 °

ゴニオメーター半径　　　　　　300 mm

光学系　　　　　　　　　　　  CBO光学系切り替えユニット （集中法、平行ビーム法）

ステージ　　　　　　　　　　   標準粉末用高さ基準試料板、透過小角用試料板、4 インチウェハー用試料板

検出器　　　　　　　　　　　  シンチレーションカウンタ、1次元半導体検出器 （D/teX Ultra 250）

その他　　　　　　　　　　　   Cu用カウンタモノクロメータユニット （シンチレーションカウンタ用）

　　　　　　　　　　　　　　   Cu-Kβ用フィルター

学内 利用料金設定

• • 本人測定：基本料（10,000円/年・グループ）、使用料（550円/時間）

学外 利用料金設定

• • 本人測定：5,600円/時間
  • 依頼分析：8,500円/時間（粉末回折、薄膜2θスキャン、ロッキングカーブ、X線反射率測定）
    　　　　  12,700円/時間（薄膜インプレーン、逆格子マッピング、極点測定）
  • 学術指導：5,700円/時間
  • 共同 受託研究：実施および費用は双方で協議の上、決定