電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM）

仕様 特徴

冷陰極電界放出形電子銃を用いた走査型電子顕微鏡です。

電子ビームを細く収束させることができるため超高倍率の表面構造観察が可能です。

エネルギー分散型X線分析（EDX）装置により、観察試料の元素分析が可能です。

二次電子分解能　　　　　　　　　　　　1.0 nm （加速電圧15 kV）、1.3 nm （加速電圧1 kV）

倍率　　　　　　　　　　　　　　　　　20~2000倍 （低倍率モード）、100~80万倍 （高倍率モード）

加速電圧　　　　　　　　　　　　　　　0.5~300 kV

検出器　　　　　　　　　　　　　　　　二次電子検出器 （Upper-Lower検出器2台）

エネルギー分散型X線分析装置　　　　　  Bruker Quantax200

種類　　　　　　　　　　　　　　　　　シリコンドリフト検出器（Bruker XFlash6-10）

有効面積　　　　　　　　　　　　　　　10 mm²

検出元素　　　　　　　　　　　　　　　B~U

エネルギー分解能　　　　　　　　　　　 MnKα半値幅で129 eV以下

冷却　　　　　　　　　　　　　　　　　電子冷却 （液体窒素、冷却水不要）

マグネトロンスパッタ装置　　　　　　　　真空デバイス　MSP-1S

標準ターゲット　　　　　　　　　　　　  Pt

学内 利用料金設定

• • 本人測定：基本料（30,000円/年・グループ）、使用料（1,500円/時間）

学外 利用料金設定

• • 共同 受託研究：実施および費用は双方で協議の上、決定