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冷陰極電界放出型電子銃を用いた走査型電子顕微鏡です。
電子ビームを細く収束させることができるため超高倍率の表面構造観察が可能です。
エネルギー分散型X線分析(EDX)装置により、観察試料の元素分析が可能です。
二次電子分解能 1.0 nm (加速電圧15 kV)、1.3 nm (加速電圧1 kV)
倍率 20~2000倍 (低倍率モード)、100~80万倍 (高倍率モード)
加速電圧 0.5~300 kV
検出器 二次電子検出器 (Upper-Lower検出器2台)
エネルギー分散型X線分析装置 Bruker Quantax200
種類 シリコンドリフト検出器(Bruker XFlash6-10)
有効面積 10 mm2
検出元素 B~U
エネルギー分解能 MnKα半値幅で129 eV以下
冷却 電子冷却 (液体窒素、冷却水不要)
マグネトロンスパッタ装置 真空デバイス MSP-1S
標準ターゲット Pt
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