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ラマンスペクトルにより試料の成分組成、結晶構造や化学構造の分析を行うことができ、
スペクトル画像により物質や結晶の分布がわかります。
532 nmと785 nmのハイパワーレーザーを搭載しており、ライン照明による高速イメージングが可能で、
最高350 nmの空間分解能を有しています。
半導体や二次電子、無機材料、高分子・生体材料など幅広い分野で利用できます。
光学顕微鏡 正立型(透過照明/反射照明)
レーザー波長 532 nm, 785 nm
レーザー照射方式 ポイント照明およびライン照明
スキャナー ガルバノメーターミラーによる高速X-Yイメージング
試料ステージによるZ軸方向走査、ステップ幅50 nm
グレーティング 300 gr/mm, 600 gr/mm, 1200 gr/mm
検出器 電子冷却CCD (1340×400画素)
空間分解能(X/Y/Z) 350 nm/1000 nm (×100 0.90NA対物レンズ使用時)
顕微分光性能 1200/mmグレーティング使用時
分光分解能(FWHM) 1.6 cm-1
ラマンシフト検出範囲 80~4000 cm-1
対物レンズ ×5, ×10, ×20, ×50, ×100
オプション
簡易偏光セット 偏光フィルター2個(POL↕↔、POL↔)、水晶波長板1個(λ/2↕↔)
試料密閉容器LIBCell 不活性雰囲気ラマン測定用、 試料サイズφ10 mm、 深さ1.5 mm
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