複合ビーム加工観察装置（FIB-SEM）

仕様 特徴

ガリウム線と電子線を操る複合ビーム加工観察装置です。

FIBは最大照射電流90 nAの高電流密度Gaイオンビームを採用し、高速加工が可能です。

SEMは低加速条件で高空間分解能(1 kV/1.6 nm)を実現、大電流でも高い空間分解能を維持しています。

大口径EDS（エネルギー分散型X線分析装置）を導入しており、高速組成分析を行うことができます。

ナノマニピュレーター(OmniProbe350)が付属しています。

SEMおよびFIBで観察しながらリフトアウト作業が行えるため、試料室内でTEM試料などの作製を完結させることができます。

大気非暴露トランスファーシステムを搭載しており、試料を大気に晒すことなく加工/取り出し/持ち運びが可能です。

学内 利用料金設定

• • 本人測定：基本料（30,000円/年・グループ）、使用料（4,000円/時間）
  • 技術指導料：4,000円/時間

学外 利用料金設定

• • 本人測定：15,000円/時間、 1,200,000円/年（利用上限100時間）
  • 技術指導料：15,000円/時間
  • 共同 受託研究：実施および費用は双方で協議の上、決定