触針式表面形状・膜厚段差測定装置（Dektak）

仕様 特徴

直径150 mm以下の基板上の膜厚段差、表面粗さ、うねりなどの表面形状を高精度に測定する触針式表面形状測定器です。

Au、Ag、Alや有機薄膜などの柔らかい薄膜でも膜表面を傷つけることなく測定することができ、

微細加工された溝深さなども測定できます。

垂直表示レンジ　　　　　　　　　　　　6.5 nm~524 μm

垂直方向分解能/測定レンジ　　　　　　  0.1 nm/6.5 μm, 1 nm/65.5 μm, 8 nm/524 μm

垂直分解能（最高）　　　　　　　　　　  0.1 nm

膜厚測定再現性　　　　　　　　　　　  1σ = 0.6 nm以下

測定距離　　　　　　　　　　　　　　  50 μm~55 mm

測定時間　　　　　　　　　　　　　　  3~400秒

触針圧　　　　　　　　　　　　　　　  1~15 mg

触針半径（標準）　　　　　　　　　　　  12.5 μmR

サンプルステージサイズ　　　　　　　　 直径 150 mm

ステージ移動範囲　　　　　　　　　　   X : ±50 mm　Y : ＋75 mm, －25 mm　θ : 360°　

解析パラメータ　　　　　　　　　　　　30種類

　粗さ解析パラメータ　　　　　　　　　Ra, Rq, Rp, Rv, Rt, Rz_din, MaxRa, Maxdev, Skew

　うねり解析パラメータ　　　　　　　　 Wa, Wq, Wp, Wv, Wt, Wmaxdev

　高さ解析パラメータ　　　　　　　　　ASH, AvgHt, Peak, Valley, P_V, TIR, Pc, HSC

　幾何学パラメータ　　　　　　　　　   Area, Slope, Volume, Radius, Perimeter, Sm, Tp

学内 利用料金設定

• • 本人測定：基本料（5,000円/年・グループ）、使用料（250円/時間）

学外 利用料金設定

• • 共同 受託研究：実施および費用は双方で協議の上、決定