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電子プローブマイクロアナライザー(EPMA)では、ミクロ組織の観察と微小領域の元素分析が行えます。
付属する軟X線発光分光器は、軽元素の検出や状態分析に有効です。
【JXA-8530Fの主な仕様】
分析元素範囲WDS, EDS:B~U
X線分光範囲WDS分光範囲:0.087~9.3 nm
EDSエネルギーレンジ:20 keV
最大試料寸法:100 mm×100 mm×50 mm (H)
加速電圧:1~30 kV (0.1 kVステップ)
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