走査型プローブ顕微鏡（AFM）

仕様 特徴

微小部の三次元ナノメートルオーダーの形状と機械物性、電気物性を同時に計測するシステムです。

表面電位分布や、粘弾性分布、摩擦特性分布が計測できます。面内0.2 nm、垂直0.01 nmの分解能を有しています。

制御部　　　　　　　　　　NanoNaviステーション

本体　　　　　　　　　　　多機能型ユニット　SPA-400

検出系　　　　　　　　　　光てこ方式

試料サイズ　　　　　　　　 35 mmφ、10 mm厚

スキャナー　　　　　　　　 オープンループ　XY : 20 μm/Z : 1.5 μm

　　　　　　　　　　　　　クローズループ　XY : 110 μm/Z : 6 μm

測定モード　　　　　　　　 AFM、DFM他

ホルダー　　　　　　　　　 AFM, DFM, VE-KFM

学内 利用料金設定

• • 本人測定：基本料（5,000円/年・グループ）、使用料（700円/時間）

学外 利用料金設定

• • 本人測定：3,600円/時間（別途消耗品は実費）
  • 依頼分析：6,400円/件（別途消耗品は実費）
  • 学術指導：6,400円/時間
  • 共同 受託研究：実施および費用は双方で協議の上、決定