手動式マスクアライナ

仕様 特徴

高精度な位置決めと露光が可能な手動マスクアライナです。

露光最小線幅は0.8 μm、位置決め精度は1 μmと大変優れています。

小片～4インチ(φ100 mm)サイズに対応します。

光学系　　　　　　　　　　　　　　　UV400 （i、h、g線のブロードバンド）

ランプ　　　　　　　　　　　　　　　 Hg 350 W

基板サイズ　　　　　　　　　　　　　 S-5×5、10×10、25×25、W-100 mm

基板厚　リソ用　　　　　　　　　　　 最大8.8 mm （基板+マスク厚）

　　　　　　　　　　　　　　　　　　最大0.7 mm （バキュームコンタクト使用時）

マスク厚　　　　　　　　　　　　　　 0.09 インチ、0.125 インチ （推奨）

露光モード　　　　　　　　　　　　　ソフトコンタクト、ハードコンタクト、バキュームコンタクト、プロキシミティ

マスクホルダー　　　　　　　　　　　 ① 露光エリア S-1 インチ、マスクサイズ M-2-5 インチ角

　　　　　　　　　　　　　　　　　   ② 露光エリア W-4 インチ、マスクサイズM-5 インチ角

チャック　　　　　　　　　　　　　　 ① 5×5、10×10 mm角基板用

　　　　　　　　　　　　　　　　　   ② 25×25 mm角基板用

　　　　　　　　　　　　　　　　　   ③ W-4インチウェハ用

学内 利用料金設定

• • 本人測定：基本料（5,000円/年・グループ）、使用料（400円/時間）

学外 利用料金設定

• • 共同 受託研究：実施および費用は双方で協議の上、決定