金属顕微鏡システム

仕様 特徴

反射・透過照明両用型で、反射型の明視野/暗視野/偏光/微分干渉/蛍光/二光束干渉観察に加え、

透過型の明視野/暗視野/偏光/位相差/微分干渉観察が可能です。

１～20 μｍ程度の試料をピックアップできるナノピンセットも装備されており、

半導体デバイス、電子部品、素材・材料、精密金型などの用途に対応できます。

顕微鏡　　　　　　　　　　　　　　工業顕微鏡UDM ECLIPSE LV100D-U

反射照明装置　　　　　　　　　　　LV-UEPI2

観察法　　　　　　　　　　　　　　反射：明視野、暗視野、偏光、微分干渉、蛍光

　　　　　　　　　　　　　　　　　透過：明視野、暗視野、偏光、位相差、微分干渉

　　　　　　　　　　　　　　　　　オルソスコープ、コノスコープ

対物レンズ　　　　　　　　　　　　 LU Plan BD ELWD : 5×、10×、20×

　　　　　　　　　　　　　　　　　L Plan EPI SLWD : 50×

　　　　　　　　　　　　　　　　　LU Plan BD Fluor : 50×、100×

デジタルカメラ　　　　　　　　　　  DS-Fi1

ソフトウェア　　　　　　　　　　　   画像総合ソフトウェア NIS-Elements

　　　　　　　　　　　　　　　　　画像タイリングシステム e-Tiling

付属システム　　　　　　　　　　　 卓上型空気ばね式除振装置　AVT-0506NC

　　　　　　　　　　　　　　　　　トランスファーマン　NK2

　　　　　　　　　　　　　　　　　ナノピンセットシステム

学内 利用料金設定

• • 本人測定：基本料（3,000円/年・グループ）、使用料（200円/時間）

学外 利用料金設定

• • 共同 受託研究：実施および費用は双方で協議の上、決定