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透過型電子顕微鏡(TEM)では、ナノ粒子やナノスケールでのミクロ組織の観察および結晶構造の解析が行えます。
さらに細く絞った電子ビームを試料上で走査させながら試料を透過した電子線の強度を検出して画像化する走査透過電子顕微鏡法(STEM)での観察も行えます。
透過電子による明視野像(STEM-BF)と散乱電子による暗視野像(STEM-DF)での観察が可能です。
エネルギー分散形X線分光法(EDS)も利用でき、BeからUまでの元素範囲の同時分析を、点分析から元素マッピングなどで行えます。
さらに、TEM/STEMトモグラフシステムを搭載していることから3次元再構成像を得ることもできます。
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