26_透過型電子顕微鏡

透過型電子顕微鏡

メーカー名/型番

   日本電子 / JEM-2100

管理部局

   杉本キャンパス　工学研究科

設置場所

　杉本キャンパス 工学部F棟209室 【米谷紀嗣】

お問い合わせ

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仕様 特徴

概要・性能：各機能がPCで一元管理された200kV汎用形電子顕微鏡。LaB6電子銃搭載。バイオからマテリアルまであらゆる分野での研究・開発を支援。顕微鏡像観察以外に、STEM(BF・DF)像観察、電子回折像観察、EDS分析が可能。
分解能：0.23nm
観察可能倍率：(MAG) x 2k ～ x 1.5M, (LOW MAG) x 50 ～ x 6k
加速電圧：200kV
像観察：蛍光板投影、CCDカメラ取込、フィルム撮影（現像室完備）

操作性と拡張性を備えた電子顕微鏡

LaB6電子銃を搭載しています。0.19 nmの高い分解能 （ポールピース URP 使用 ） を実現しました。
STEM（走査像観察装置）やEDS（エネルギー分散形 X 線分析装置）は本体コントロール用 PC にインテグレーション化されています。
EDS は立体角0.28 sr （ポールピース HRP、50 mm2検出器使用）を実現し、高感度、高分解能分析が可能です。
新設計のゴニオメータステージを採用し、長時間の安定した観察、分析が可能です。

次のうち、当機器は「高分解能構成（ＨＲ）」になります
バージョン 超高分解能構成 高分解能構成 試料高傾斜構成 クライオ構成 ハイコントラスト構成
(UHR) (HR) (HT) (CR) (HC)
分解能
　粒子像 0.194 nm 0.23 nm 0.25 nm 0.27 nm 0.31 nm
　格子像 0.14 nm 0.14 nm 0.14 nm 0.14 nm 0.14 nm
加速電圧 80，100，120，160，200 kV
　最小可変加速電圧 50 V
電源安定度
　加速電圧 2×10-6／min
　対物レンズ安定度 1×10-6／min
対物レンズ
　焦点距離 1.9 mm 2.3 mm 2.7 mm 2.8 mm 3.9 mm
　球面収差係数 0.5 mm 1.0 mm 1.4 mm 2.0 mm 3.3 mm
　色収差係数 1.1 mm 1.4 mm 1.8 mm 2.1 mm 3.0 mm
　最小焦点可変量 1.0 nm 1.5 nm 1.8 nm 2.0 nm 5.2 nm
スポットサイズ
　TEMモード 20～200 nmφ 1～5 μmφ
　EDSモード 0.5～25 nmφ 1.0～25 nmφ 1.5～35 nmφ 2.0～45 nmφ 10～500 nmφ
　NBDモード 　 　 　 　
　CBDモード (αセクレタ組込み) (αセクレタ組込み) (αセクレタ組込み) (αセクレタ組込み)
収束電子回折
　収束角（2α） 1.5～20 mrad以上 - -
　取込角 ±10° - -
倍率
　MAG ×2,000～ 1,500,000 ×1,500～1,200,000 ×1,200～ 1,000,000 ×1,000～ 800,000
　LOW MAG ×50～6,000 ×50～2,000
　SA MAG ×8,000～800,000 ×6,000～600,000 ×5,000～600,000 ×5,000～400,000
カメラ長
　制限視野回折 80～2,000 mm 100～2,500 mm 150～3,000 mm
　高分散回折 4～80 mm
　高分解能回折 333 mm
試料室
　傾斜角　X／Y ±25/±25° ±35/±30° ±42/±30° ±15/±10° ±38/±30°
　傾斜角　X ±25° ±80° ±80° ±80° ±80°
　試料移動量 2 mm (X,Y) 0.2 mm (Z±0.1 mm) 2 mm (X,Y) 0.4 mm (Z±0.2 mm)
EDS(Si（Li）型検出器)
　立体角 0.13sr／0.24sr 0.13sr／0.28sr 0.13sr／0.23sr ※6 0.09sr／－
　30mm2/50mm2)
　取出角 25˚／22.3˚ 25˚／24.1˚ 25˚／25˚ ※6 20˚／－
　30mm2/50mm2)

学内 利用料金設定

    • 本人測定：料金は別途問い合わせください。
    • 依頼分析：料金は別途問い合わせください。

学外 利用料金設定

    • 本人測定：20,000円/時間　※別途 技術指導料（1,000円/時間）がかかります。　
    • 学術指導：実施及び費用は双方で協議の上、決定します。
    • 共同 受託研究：実施及び費用は双方で協議の上、決定します。