27_共焦点３次元蛍光X線分析装置（真空仕様）

共焦点３次元蛍光X線分析装置（真空仕様）

共焦点微小部蛍光X線分析法では、試料の表面近傍において任意の深さで測定を行うことができます。　　　　　　　　　　　　　　　また、試料を走査させることで3次元的な元素分布像を非破壊的に取得することができます。
本装置では測定雰囲気を真空にすることによって、Mgなどの軽元素の測定も可能です。

【測定例1:元素分布像の取得】
毛髪や食品など様々な形態の試料内部の元素分布を取得することが可能です。

【測定例2:層構造解析】
塗膜を有する自動車用めっき鋼板などの層構造を持つ試料に対して深さ元素分布を非破壊的に取得できます。