32_X線分析顕微鏡

X線分析顕微鏡


メーカー名/型番

　堀場製作所 / XGT-5000

管理部局

　杉本キャンパス　工学研究科

設置場所

　杉本キャンパス 工学部B棟106W室 【辻 幸一】

お問い合わせ

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仕様 特徴

    生体組織や鉱物の分析、半導体や電子部品関連の各種解析、品質管理など、幅広い分野での活用が可能です。
    特別な前処理なしに、試料の構成元素と内部構造の解析を同時に行うことができます。
    10µm の空間分解能をもつ高輝度マイクロビームを実現した独自のX線導管（XGT）を採用し、微小な試料でもマッピングが得られるなど、高精度な測定を可能にしています。
    主な特長は、元素マッピング像と透過X線像が同時に得られることや試料を選ばないことです。
    しかも大気中で非破壊測定が可能なので、貴重な試料や水分を含む試料などにも対応できます。

    　１．元素マッピング像と、透過X線像が同時に得られます。

    　２．試料の前処理なしに、大気中で非破壊・非汚染の測定が可能。

    　３．試料を選ばず、生体などでも分析可能。

    　４．Na（ナトリウム）からU（ウラン）まで31元素を同時マッピング。　

    　５．300mm×250mm※1 のサンプルをそのまま分析可能。

    　６．φ 10µm / φ 100µm の点分析、微小領域から広領域までの面分析に対応。

    【測定例1：研究開発】
    材料開発、バイオ試料解析 (植物、小動物などの生体組織、鉱物)

    【測定例2：品質管理 】
    異物分析、不良解析 (半導体パッケージ、電子部品)

    　測定可能元素 　Na～U（ただし試料による）
    　空間分析能 　最小φ10µm
    　試料形状※1 　高さ：40mm以内　300×250mm　高さ：41ｍｍ～60mm以内　100×100mm
    　特徴 　蛍光X線による元素分析能力、透過X線像、顕微鏡の観察能力の3つの機能をもつX線分析顕微鏡

    学内 利用料金設定

      • 本人測定：料金は別途問い合わせください。
      • 依頼分析：料金は別途問い合わせください。

    学外 利用料金設定

      • 本人測定：3,500円/時間　※別途 技術指導料（2,600円/時間）がかかります。　
      • 依頼分析：6,000円/時間
      • 学術指導：実施及び費用は双方で協議の上、決定します。
      • 共同 受託研究：実施及び費用は双方で協議の上、決定します。