クリーンルーム

クリーンルームの概要
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クリーンルームの概要

Clean room overview

本学の中百舌鳥キャンパスC10棟２階には、
垂直一方向流式（ダウンフロー方式※）のクリーン
ルームがあります。ナノテクノロジー研究に関連
した微細加工のための機器装置が多数設置されて
おり、管理責任者が許可した研究グループに使用
いただいています。

※室内全域に一様な垂直方向の清浄空気の流れを形成し、内部に発生した
汚染物質をピストン的に押し流す効果を利用する気流方式です。

クリーンルームとは

空気中に浮遊している粒子（パーティクル、塵）は微細加工の
不良原因となるので、少なくする必要があります。
クリーンルームは空気中の粒子濃度を非常に低く抑えた部屋であり、温度、
湿度、圧力なども制御されています。天井からフィルターを通過
した清浄空気が床のグレーチングと呼ばれる空気の抜け道まで、
上から下への一方向の流れを形成し、粒子を巻き込みません。
また、クリーンルームの中の圧力は外部に比べ高く設定されて
いるので、外部への気流が発生し、外部からの粒子の侵入を抑えて
います。

クリーンクラスとは

クリーンルームの空気のきれいさを表す指標を清浄度または
クリーン度といい、一般に「クラス100」や「クラス100,000」と
いった呼び方が使われます。これは米国の連邦規格に由来し、
1ft³（1ft＝0.3048 m）の空間に 0.5 ㎛以上の粒子が何個存在する
かを表現します。クラス100は、「１ft³ 中に 0.5 ㎛以上の粒子が
100個以下」の清浄空間です。

仕様

クラス10、クラス100、クラス1000（前室、暗室、バイオクリーンルーム含む）、CR 準備室（打ち合わせスペース）

各部屋面積

クラス10	56.40 ㎡
クラス100	83.60 ㎡
クラス1000	243.50 ㎡
前室	16.50 ㎡
暗室	32.10 ㎡
バイオ	43.80 ㎡
合計	495.90 ㎡

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利用可能な全学共用機器

Available equipment

クリーンルーム内では、
下記の全学共用機器を利用することができます（要予約）。

【装置一覧】

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部屋	場所番号	機器名	メーカー	型番
10	①	電子ビーム描画装置（EB）	エリオニクス	ELS-7500EXI
10	②	触針式表面形状・膜厚段差測定装置（Dektak）	ビーコ	Dektak 150
10	③	デジタル顕微鏡	キーエンス	VHX-1000
10	④	手動式マスクアライナー	ズースマイクロテック	MJB4
10	⑤	スーパーファインコーター	エリオニクス	ESC-101
10	⑨	スピンコーター	ミカサ	MSーA100
10	⑦	ベーク炉	ヤマト科学	DX30
10	⑧	プラズマリアクター	ヤマト科学	PR31
10	⑨	マスクアライナー	ヤマト科学	MA-10
1000	⑩	集束イオンビーム加工観察装置（FIB）	日立ハイテク	FB-2100
暗室	⑪	ロードロック式3元スパッタ装置	日本シード研究所	M09
前室	⑫	超音波熱圧着ウェッジワイヤーボンダー	ハイソル	7476D

【クリーンルーム　装置・薬品庫配置図】

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電子ビーム描画装置（EB）

触針式表面形状・膜厚段差測定装置（Dektak）

デジタル顕微鏡

手動式マスクアライナー

スーパーファインコーター

スピンコーター

ベーク炉

プラズマリアクター

マスクアライナー

集束イオンビーム加工観察装置（FIB）

ロードロック式3元スパッタ装置

超音波熱圧着ウェッジワイヤーボンダー

【クラス1000・100・10写真】

ご利用方法

How to use

利用申請

クリーンルームは、管理責任者が許可した学内の研究グループに使用
を認めています。
本学の教職員及び学生は、教職員証または学生証に入室権限を付与し
ます。教職員証または学生証をお持ちでない方には、別途カードキー
を交付します。
クリーンルームを初めて利用される方は、研究室代表者（教員）を通じ
て以下のフォームより申請してください。