活動情報

■日時　8月5日（土）13時00分～16時00分

■会場　大阪公立大学　中百舌鳥キャンパス　B4棟 W220室

■内容　電子ビームを使ったナノワールド作製と観察―最先端の超微細構造作製技術と電子顕微鏡観察の実践―①

■概要　【全体説明とシリコン基板へのフォトレジストコート】テーマの全体説明およびスケジュールを確認後、２班に分かれて各自に①シリコンウェハーの分割の体験、②シリコン基板上へのフォトレジストのスピンコートを行ってもらった。その後コートしたレジスト薄膜についての説明と触針式段差計によるレジスト膜厚の測定を行った。