活動情報

■日時　8月11日（金）13時00分～16時00分

■会場　大阪公立大学　中百舌鳥キャンパス　C10棟 202室、204室、214室

■内容　電子ビームを使ったナノワールド作製と観察―最先端の超微細構造作製技術と電子顕微鏡観察の実践―②

■概要　【クリーンルーム見学とEB露光試料の現像】
クリーンルーム全体に関する説明・注意の後、クリーンルームの見学を行った。特に、クラス1000室に設置されている以下の装置
①　分子線エピタキシー薄膜結晶作製装置
②　集束イオンビーム装置
③　イオンビーム・エッチング装置
④　走査型電子顕微鏡
およびクラス10室に設置されている
⑤　EBリソグラフィー装置について、説明を受けた。
その後、クリーンルーム・クラス10室にてEB露光試料の現像を行い、現像した試料基板をデジタル光学顕微鏡により観察した。