研究設備

周波数特性分析器
高温プローバー
送風定温恒温器 ×２台
スピンコーター
電気化学計測システム②
電気化学計測システム①
パルスジェネレータ― &オシロスコープ
RTA装置②
ダイナミック超微小硬度計
真空グローブボックス
充放電装置
電気化学顕微鏡
半導体パラメータアナライザ
強誘電体テストシステム②
強誘電体テストシステム①
セミオートプローバー
小型ボックス炉
Gold Image炉
RTA装置①
スパッタ装置
CVD装置③
CVD装置②
CVD装置①