研究設備

◎試料作製関係

●マルチチャンバー真空蒸着装置

金属薄膜成膜室内（電子ビーム方式）

分子薄膜成膜室内（抵抗加熱方式）

グローブボックス部

●抵抗加熱蒸着装置２（バッチ式）

●ＤＣマグネトロンスパッタリング装置

●ＲＦマグネトロンスパッタリング装置１

●ＲＦマグネトロンスパッタリング装置２

●フォトリソグラフィ装置（直接描画方式）

●イエロースペース全体

◎特性評価関係

●磁気抵抗効果測定系

電磁石

バイポーラ電源

●高周波測定系

ネットワークアナライザ

電磁石＆伝送線

測定中の様子

●磁化測定関係

試料振動型磁束計（ＶＳＭ）本体

◎その他
学内外の研究室の、以下の装置等を利用させていただいております。
電子スピン共鳴(ESR)装置、ＡＦＭ、ＸＲＤ、Arイオンミリング、触針段差計、他。