実験装置
研究室所有の実験装置
複合ビーム加工観察装置 (FIB-SEM)※共用機器として運用
複合薄膜製造装置(電子線蒸着・RFスパッタ・イオンガン・抵抗加熱蒸着・試料交換室)
MBE装置(Kセル・電子線蒸着・RHEED・試料交換室)
冷媒フロー型4探針プローバ―(磁場印加機構付き)
ベクトルネットワークアナライザ(40GHz)
スペクトルアナライザー・信号発生器(40GHz)
オシロスコープ
高速パルスジェネレータ―
ウェッジボンダー
各種TEMホルダー(電気信号印加用、冷却用、不活性雰囲気対応 など)
真空排気システム
PPMS各種ホルダー
など
共用設備 / 共用機器(大阪公立大学@なかもずキャンパス)
高規格クリーンルーム
電子線描画装置
集束イオンビーム装置(FIB)
走査型電子顕微鏡(SEM)
ヘリウム液化装置・ガス循環システム
物理特性計測システム(PPMS)
磁気特性計測システム(MPMS)
透過型電子顕微鏡(TEM)
レーザー顕微鏡
など