実験装置

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研究室所有の実験装置

複合ビーム加工観察装置 (FIB-SEM)※共用機器として運用

複合薄膜製造装置(電子線蒸着・RFスパッタ・イオンガン・抵抗加熱蒸着・試料交換室)

MBE装置(Kセル・電子線蒸着・RHEED・試料交換室)

冷媒フロー型4探針プローバ―(磁場印加機構付き)

ベクトルネットワークアナライザ(40GHz)

スペクトルアナライザー・信号発生器(40GHz)

オシロスコープ

高速パルスジェネレータ―

ウェッジボンダー

各種TEMホルダー(電気信号印加用、冷却用、不活性雰囲気対応 など)

真空排気システム

PPMS各種ホルダー

など

共用設備 / 共用機器(大阪公立大学@なかもずキャンパス)

高規格クリーンルーム

電子線描画装置

集束イオンビーム装置(FIB)

走査型電子顕微鏡(SEM)

ヘリウム液化装置・ガス循環システム

物理特性計測システム(PPMS)

磁気特性計測システム(MPMS)

透過型電子顕微鏡(TEM)

レーザー顕微鏡

など