研究テーマ

A: Total reflection X-ray Fluorescence (TXRF)

　全反射蛍光X線分析法は1次X線を平坦基板上で全反射させることにより、基板上の微少量試料を高感度に蛍光X線分析する方法です。現在、シリコンウエハー上の汚染状況をチェックする方法として確立していますが、より一般的な微量分析法を目指して研究を行っています。特に試料準備方法を検討しています。環境分析、バイオ・食品分析や医療診断への応用も重要な課題です。

B: Grazing-Exit XRS (GE-XRS)

　斜出射X線分析法は全反射蛍光分析法と関連した手法であり、特性X線を試料表面からすれすれの取り出し角度で測定することにより、表面分析が可能となります。この方法を電子線プローブマイクロアナリシスや荷電粒子X線発光法に応用する研究を進めています。

C: Micro X-ray Fluorescence (Micro-XRF)およびXRFイメージング

　一般にX線は集光することが難しく微小部のX線分析は困難と言えます。近年開発されたX線ポリキャピラリーレンズは細いガラス管を数10万本束ねたもので微小X線源からのX線を大きな立体角で取り込み、微焦点に集光するX線光学素子です。これを利用して微小部の蛍光X線分析、X線元素マッピングが可能となります。２つのＸ線レンズを共焦点配置にすることにより3次元Ｘ線元素マッピングの研究も行っています。
　走査型XRFイメージング（上記の共焦点3DXRFを含む）と全視野型XRFイメージングを研究しています。全視野型には、波長分散型とX線カメラを用いるエネルギー分散型のXRFイメージングに取り組んでいます。

D: X-Ray SPM

　走査プローブ顕微鏡は原子レベルで試料表面の形状を観測できる手法ですが、元素の識別をすることは難しいのが現状です。そこで、X線分析の手法を適用して原子レベルでの元素分析の可能性を探っています。

E: Glow Discharge Plasma

　グロー放電プラズマは安定な持続放電であり、発光分析用の光源や質量分析のイオン源として利用されています。高電圧のグロー放電は電子源やX線源としても利用できます。このようにグロー放電プラズマの分光分析要素技術としての基礎研究を行っています。

F: Others (compact XRS, solid/liquid XRF, etc.)

　小型蛍光X線分析、植物中金属元素の蛍光X線モニター、半導体材料分析、固液界面X線分析、マイクロ化学システムへのX線分析の応用　など。